上海微電子的光刻機誕生之路

上海微電子裝備有限公司（SMEE）通過十七年的“臥薪嘗膽”，持續攻關，基本掌握了高端光刻機的集成技術，並部分掌握了核心部件的制造技術，實現了“用中國人的光刻機造中國芯”的夢想。其發展過程，為我國突破尖端科技並有效將研發與產業化結合提供了諸多可借鑒的經驗。

其一，用產品化、工程化思想來進行產品研發創新。針對高端光刻機開發周期長，難度高的特點，SMEE根據市場需求，在不斷瞄准高科技發展的同時，不斷把掌握的技術輻射為具有應用前景又能為國民經濟、產業領域提供很好技術支撐的產品，這樣兩個目標形成一種互動、良性循環。

其二，堅持系統工程管理的思想和方法。光刻機是一個由幾萬個精密零件、幾百個執行器傳感器、千萬行代碼組成的超復雜思維系統，要制造出光刻機，不僅僅需要科學技術上的攻關突破，還需要將大量的技術集成起來。因此，SMEE努力學習並借鑒世界上大型復雜工程項目的管理案例，始終不渝地堅持推進用系統工程管理思想和方法來組織推進光刻機項目實施。

其三，堅持全球化、國際化的創新思維。由於光刻機生產集成的供應鏈非常復雜，我國整個技術門類還不健全，資源鏈也不完善，所以在光刻機的研發過程中，除了自主創新，還需要面向全球整合資源。SMEE正是充分利用了我國不斷擴大開放的發展條件，吸引了全球高科技人才、組織，利用國際資源解決自身瓶頸，有力推動了光刻機的研發進程。

光刻機夢想的實現離不開上海微電子人十幾年來不懈的努力和創新，也離不開正確的思想指導和方法實踐。上海微電子產研互動、系統管理與開放創新的思路與方法將不斷助力我國制造業突破尖端科技之路。

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上海微電子：國產光刻機孵出中國芯 登上智能制造業珠峰