日前，2021年上海市工人先锋号揭晓，宝山的不少集体都榜上有名，费勉仪器科技（上海）有限公司的研发团队就是其中之一，这支成立于2015年，成员平均年龄仅30岁的年轻团队，在短短几年时间里，已实现多项关键技术的难点突破。

费勉仪器致力于为全球学术及研究机构、国家重大项目和高端产业提供精密仪器装置和整体解决方案。

目前，费勉仪器科技（上海）有限公司的研发团队已在真空技术、低温技术、薄膜制备和等离子技术四大方向上都取得了可喜的成果，其中自主研发的射频聚焦等离子技术，多个指标也远超过国际同类产品，在填补国内空白的同时，还实现了反向出口。

现在研发团队累计已申请专利130余项，授权40余项。这也让团队的成员们越挫越勇，在这个大家庭中共同进步。

公司研发团队负责人是80后的公司首席技术官谢斌平博士，他个人曾荣获2014年上海自然科学一等奖，2015年国家自然科学二等奖， 2018年入选上海市青年拔尖人才计划，2021被评为“宝山工匠”。在他的带领下，团队完成了多项研发任务，在多个技术上取得突破。“我们做的无论是一些科学设备也好，或者一些半导体项目，一些卡脖子的项目，因为做得这个事情比较重要，所以说让大家觉得做的事情很重要，然后有难度，所以现在这年轻人就比较容易去挑战。”

费勉仪器科技（上海）有限公司研发人员说：“我们现在做可以说是从零开始，有很多需要自己先研发，有压力，但给我们的动力也很强，因为我们做出成果也可以看得到，很多实际的成果运用起来，在客户那边反馈很好，所以说压力和动力是并存的。”

如果说基础科研仪器的研发是为明天做准备，而工业半导体“卡脖子”仪器设备的开发就是为了现在。

基于公司在科研仪器研发中形成的自有成熟技术，费勉仪器自2020年开始了工业半导体装备的研发，2020年底已向某半导体龙头企业交付了国内首套超高真空解理镀膜装置，目前，研发团队又在攻克半导体新的制造技术，以突破对国内高功率芯片用外延生长设备的封锁。

费勉仪器科技（上海）有限公司研发团队负责人说：“我们的目标就是两到三年，做到以美国为首的国家对我们禁运的这些设备，我们可以做到国产替代，三到五年，我们甚至可以做得比他们更好。”

今后，费勉仪器科技（上海）有限公司的研发团队将以做强民族高端仪器为己任,潜心研发，在自主创新道路上强力推进，力争在更多的瓶颈技术上实现突破。

（来源：上海宝山）

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