上海微电子的光刻机诞生之路

上海微电子装备有限公司（SMEE）通过十七年的“卧薪尝胆”，持续攻关，基本掌握了高端光刻机的集成技术，并部分掌握了核心部件的制造技术，实现了“用中国人的光刻机造中国芯”的梦想。其发展过程，为我国突破尖端科技并有效将研发与产业化结合提供了诸多可借鉴的经验。

其一，用产品化、工程化思想来进行产品研发创新。针对高端光刻机开发周期长，难度高的特点，SMEE根据市场需求，在不断瞄准高科技发展的同时，不断把掌握的技术辐射为具有应用前景又能为国民经济、产业领域提供很好技术支撑的产品，这样两个目标形成一种互动、良性循环。

其二，坚持系统工程管理的思想和方法。光刻机是一个由几万个精密零件、几百个执行器传感器、千万行代码组成的超复杂思维系统，要制造出光刻机，不仅仅需要科学技术上的攻关突破，还需要将大量的技术集成起来。因此，SMEE努力学习并借鉴世界上大型复杂工程项目的管理案例，始终不渝地坚持推进用系统工程管理思想和方法来组织推进光刻机项目实施。

其三，坚持全球化、国际化的创新思维。由于光刻机生产集成的供应链非常复杂，我国整个技术门类还不健全，资源链也不完善，所以在光刻机的研发过程中，除了自主创新，还需要面向全球整合资源。SMEE正是充分利用了我国不断扩大开放的发展条件，吸引了全球高科技人才、组织，利用国际资源解决自身瓶颈，有力推动了光刻机的研发进程。

光刻机梦想的实现离不开上海微电子人十几年来不懈的努力和创新，也离不开正确的思想指导和方法实践。上海微电子产研互动、系统管理与开放创新的思路与方法将不断助力我国制造业突破尖端科技之路。

【案例链接】

上海微电子：国产光刻机孵出中国芯 登上智能制造业珠峰