脱下无尘衣穿上学位服

他们凭啥免写研究生论文

免写研究生论文，拿下专业硕士学位，还在对口企业直接就业——胥沛雯和周正做到了。6月中旬，这两位上海海洋大学首届集成电路专项班研究生脱下无尘衣、穿上学位服，刚在临港校园参加完学校毕业典礼，就前往住企培养单位——上海邦芯半导体。

不久前，他们带着两年半扎根企业一线攻克国产芯片制造“卡脖子”工艺的实战成果，在论文答辩会上赢得高校教授和国家级行业专家的全票通过，成为上海海洋大学首批以实践成果申请并获授学位的专业硕士。

上海海洋大学与邦芯半导体校企合作，开出集成电路专项班，探索产教融合工程硕博士培养。首届专项班仅胥沛雯和周正两人。他们2024年3月加入联合培养项目。

胥沛雯啃的是“深硅刻蚀”这根硬骨头。在教授许竞翔和博士王士京的指导下，他依托邦芯自研的Topaz深硅刻蚀机，泡在车间里反复调试参数，自主开发出原位平滑工艺，还提出了等效开口率负载模拟法。两年半下来，他硬是“攒”出了6项发明专利，为三维先进封装破题。

周正则“钻”进了钨金属填充的世界。在教授褚振华和博士涂乐义指导下，他从设备底层控制架构“动手术”，引入可编程逻辑控制器和可控硅调压器，把传统设备“反应慢”“温度飘”的毛病一一治服。他开发的低阻钨微孔填充工艺，在低电阻、高填充率和量产效率之间找到了那个“黄金平衡点”，还拿下了2项授权发明专利，为先进制程互连攻关立功。

（来源：解放日报 记者 徐瑞哲 通讯员 徐凌）