脫下無塵衣穿上學位服

他們憑啥免寫研究生論文

免寫研究生論文，拿下專業碩士學位，還在對口企業直接就業——胥沛雯和周正做到了。6月中旬，這兩位上海海洋大學首屆集成電路專項班研究生脫下無塵衣、穿上學位服，剛在臨港校園參加完學校畢業典禮，就前往住企培養單位——上海邦芯半導體。

不久前，他們帶著兩年半扎根企業一線攻克國產芯片制造“卡脖子”工藝的實戰成果，在論文答辯會上贏得高校教授和國家級行業專家的全票通過，成為上海海洋大學首批以實踐成果申請並獲授學位的專業碩士。

上海海洋大學與邦芯半導體校企合作，開出集成電路專項班，探索產教融合工程碩博士培養。首屆專項班僅胥沛雯和周正兩人。他們2024年3月加入聯合培養項目。

胥沛雯啃的是“深硅刻蝕”這根硬骨頭。在教授許競翔和博士王士京的指導下，他依托邦芯自研的Topaz深硅刻蝕機，泡在車間裡反復調試參數，自主開發出原位平滑工藝，還提出了等效開口率負載模擬法。兩年半下來，他硬是“攢”出了6項發明專利，為三維先進封裝破題。

周正則“鑽”進了鎢金屬填充的世界。在教授褚振華和博士涂樂義指導下，他從設備底層控制架構“動手術”，引入可編程邏輯控制器和可控硅調壓器，把傳統設備“反應慢”“溫度飄”的毛病一一治服。他開發的低阻鎢微孔填充工藝，在低電阻、高填充率和量產效率之間找到了那個“黃金平衡點”，還拿下了2項授權發明專利，為先進制程互連攻關立功。

（來源：解放日報 記者 徐瑞哲 通訊員 徐凌）